大多数人都会同意，这是半导体设备产业史上严重的一次衰退；而其中自动测试设备、检测设备(Inspection)、微影设备与晶圆清洗设备等产品领域的状况，是惨上加惨。但笔者认为，晶圆厂自动化设备(Fab automation)才是惨的…

　　这些晶圆厂自动化设备包括前端模块(front-end modules, FEMs)、分类机(sorters)、传送盒(load ports)以及自动化物料搬运系统(automated material handling systems，AMHS)等。这些设备领域状况凄惨的证据如下：

　　1. 领导级晶圆厂自动化设备供货商Asyst近声请破产，并正寻找买主；该产业已经面临无止尽的亏损跟裁员。

　　2. 另一家供货商Brooks Automation也面临亏损与裁员。该公司近一期财报显示该公司09年第二季营收为3,730万美元，与08年同期的1.477亿美元相较，下滑幅 度达74.7%；与季的7,340亿美元相较也减少了49.2%。该公司第二季净损达1.525亿美元。

　　3. 日本业者Daifuku的状况稍为好一些，该公司第三季营收成长了12.9%，不过利润缩水了30.1%；Daifuku的产品非常多元化，不过我确定其无尘室设备的表现糟。

　　4. 另一家日本晶圆厂自动化设备供货商Murata Machinery的状况也类似，同样面临窘境。

　　晶圆厂自动化设备的问题在于，这类订单并没有群聚性，当一家晶圆制造商打算整顿某座厂房的晶圆自动化设备，才会订购相关系统并装机；这类订单是完整的，且很少是金额大、又包括后续订单的。FEM可能情况稍有不同，但也不会是大笔生意。

　　这为何是个问题？首先，晶圆设备产业的每个领域需要至少三家或实力相当的供货商，且每家供货商能相互竞争激励创新，推出优良又价格合理的产品。但目前的困难在于，晶圆厂自动化设备领域停滞不前、缺乏创新，而且仅存两家或是更少的供货商有正常财务状况。

　　换句话说，晶圆厂自动化设备产业已经出现危机；等到芯片制造商重新开始建造晶圆厂，恐怕没有厂商能提供新、先进的AMHS系统。

　　对我来说，状况很不明朗；该如何解决呢？芯片制造商也许得帮忙投资，以协助他们的晶圆厂自动化设备供货商伙伴脱困。如果不这么做，让那些设备供货商一个个落得破产，下一代的自动化晶圆厂也会成为泡影。