编者语：在中国MEMS技术实用化相关会议“第二届微纳米技术创新与产业化国际研讨会（ICMAN 2008）”上，北京大学微电子学研究院教授张海霞表示，“要建立起能使中国MEMS实用化所需时间缩短3～5年的机制”。

    北京大学微电子学研究院教授张海霞表示，“要建立起能使中国MEMS实用化所需时间缩短3～5年的机制”。这是张海霞在中国MEMS技术实用化相关会议“第二届微纳米技术创新与产业化国际研讨会（ICMAN 2008）”上就大学与产业合作谈及的。 

　　中国的MEMS开发有两大特点。一是政府的作用比其他国家大，大学甚至承担着为产业界开发产品的职能。除产品开发外，甚至连制造工艺的开发都倾向于由大学来完成。张海霞指出之所以能够缩短中国MEMS实用化所需时间，是因为这种具有中国特色的产官学一体化体制。张海霞表示打算花1～2年时间由研究开发机构完成试制之前的工作，然后用3～5年为量产做准备。 

　　为了实现这一目标，张海霞领导的微电子学研究院MEMS研究所将致力于创办MEMS风险企业、向企业提供IP、通过与企业合作培养技术人员等。比如，她介绍了MEMS研究所创办的两家MEMS风险企业。其中，先通过分拆成立的MEMS厂商名为First MEMS（北京青鸟元芯微系统科技有限责任公司），是在北京中关村科技园区设有基地的MEMS传感器厂商，拥有自己的制造设备。目前，First MEMS已投产了压力传感器、湿度传感器、气体传感器及加速度传感器。还准备投入使用硅微传感器。