请教CQM1-CPU21故障 CQM1-CPU21程序开始运行正常，断_欧姆龙(OMRON)

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请教CQM1-CPU21故障时间：2014/1/18 3:53:00

CQM1-CPU21程序开始运行正常，断开PLC电源一段时间后再重新上电发现OUTPUT INH（输出禁止）灯亮，ERR/ALARM灯亮，RUN灯灭，通过软件监测提示为MEMERY ERR（存储器故障），不知为什么原因？中途没动过程序，请问是否是硬件故障？企盼

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