欧姆龙(OMRON) 晶圆片托架落座传感器 EE-SPY801/802
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欧姆龙(OMRON)晶圆片托架落座传感器EE-SPY801/802
薄片载体的落座检测
■依靠与导槽并用，设定落座位置。
■晶圆片托架的接触面使用了氟素树脂。防化学性能优越。
■在独特的光学结构，几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
■采用强抗外部干扰光的变调光方式。
■电线使用净化电线(无粉尘)。
薄片载体的落座检测
■依靠与导槽并用，设定落座位置。
■晶圆片托架的接触面使用了氟素树脂。防化学性能优越。
■在独特的光学结构，几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
■采用强抗外部干扰光的变调光方式。
■电线使用净化电线(无粉尘)。
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额定值 / 规格
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPZ402
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPX404-W2A 1M
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPX742
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPY402
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPW321
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPX303
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPX613 10M
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPZ401W-02
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPY802
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPX406-W2A 2M
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPY411
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPX406-W2A 1M
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPZ301-A
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPY302
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPX743
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPWD411
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPX411
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPX303-1
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPX302-W2A 2M
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPZ401
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| 项目 型号 | EE- SPY801/802 | |
| 检测距离 (标准检测物体) |
0～5mm （反射率90% 白色纸15×15mm2 ） 0～3mm （反射率10% 黑色纸15×15mm2 ） | |
| 检测物体 | 晶圆片拖架（透明体·不透明体） | |
| 动作显示灯 | 物体检测时灯亮（橙色） | |
| 光源(发光波长) | GaAs红外发光二极管(940nm) | |
| 电源电压 | DC12～24V±10% 脉动(p-p)5%以下 | |
| 消耗电流 | 30mA以下 | |
| 控制输出 | NPN型：集电极开路输出、DC5～24V、100mA以下 残留电压：0.8V以下(负载电流100mA时) 残留电压：0.4V以下(负载电流40mA时) | |
| 应答时间 | 5ms以下 | |
| 使用环境照度 | 受光面照度 白炽灯、太阳光：3,000lx以下 | |
| 环境温度 | 动作时：－10～＋55℃、 保存时：－25～＋65℃ （不结冰） | |
| 环境湿度 | 动作时：5～85％RH、 保存时：5～95％RH （不结露） | |
| 振动（耐久） | 1～500Hz 复振幅1.0mm或150m/s2 X、Y、Z各方向 3次、11min/次 | |
| 冲击（耐久） | 500m/s2 X、Y、 Z各方向 3次 | |
| 保护结构 | IEC规格 IP30 | |
| 连接方式 | 导线引出型(标准导线长2m) | |
| 质量（捆包状态） | 本体(传感器)：约43g、附件(导槽 )：约9g | |
| 材料 | 外壳 | 四氟乙烯共聚合物（ETFE） |
| 底板 | 聚对苯二甲酸丁二醇酯 | |
| 附件 | 使用说明书 | |
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPX404-W2A 1M
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPX742
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPY402
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPW321
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPX303
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPX613 10M
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPZ401W-02
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPY802
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPX406-W2A 2M
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPY411
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPX406-W2A 1M
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPZ301-A
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPY302
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPX743
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPWD411
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPX411
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPX303-1
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPX302-W2A 2M
欧姆龙(OMRON)光电开关 EE-SPZ401
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